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我們在Dilase 直接激光寫入光刻技術(shù)方面擁有豐富的經(jīng)驗，因此推出了用于固化紫外光感光材料的 UV-KUB 系統(tǒng)。 UV-KUB 2 是一種基于 UV LED 的曝光和掩膜系統(tǒng)，具有 365nm 的可用光源。 這是一款緊湊型的桌面系統(tǒng)，能夠曝光最大直徑為 4“ 或 6“ 的晶圓。
聯(lián)系人：葉盛
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