德國osiris熱板：HOTPLATES

簡要描述：德國osiris熱板：HOTPLATES，專為研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設(shè)計(jì)，可適用最大 200/300 或 450mm的基材，具有真空通道用于基板固定。

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詳細(xì)介紹

德國osiris熱板：HOTPLATES

設(shè)計(jì)用于以下應(yīng)用：

SOFTBAKE（預(yù)烘烤）、HARDBAKE、

HMD（六甲基二硅氮烷）可選：蒸汽灌注、真空干燥

特點(diǎn)：

1.單面烘烤模塊

2.不同的基材系統(tǒng)：最大 200/300 或 450mm

3.電子或氣動(dòng)頂銷

4.具有不同頂部插入件的不銹鋼舉升銷

5.控制器單元：半自動(dòng)或手動(dòng)

6.真空通道用于基板固定

7.集成式排煙

8.可選的：

- 氮?dú)獯祾撸∟2） - 提升銷用于邊緣處理

9.專為研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設(shè)計(jì)

1.UNIXX HvT20

（直徑200mm）用于HMDS底漆和真空脫水烘烤的臺(tái)式加熱板工具。

（可臺(tái)式或獨(dú)立式）

2. UNIXX HeT20

（直徑200mm）帶電子驅(qū)動(dòng)提升銷的臺(tái)式加熱板工具。

（或安裝在臺(tái)上

3.UNIXX HpT20

（直徑200mm）帶有氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)提升銷的臺(tái)式加熱板工具。

（或臺(tái)式）

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