半自動(dòng)旋涂顯影刻蝕機(jī) LCS

LCS專為晶圓和平面基片的半自動(dòng)旋涂和開發(fā)而設(shè)計(jì)，將是試點(diǎn)項(xiàng)目、研究所和研發(fā)的*。 它保證了高均勻性和可重復(fù)性以及簡單的操作和維護(hù)。 它可以處理最大 150 毫米的晶圓或最大 125x125 毫米的方形基片。

為了與試劑等化學(xué)品相兼容，腔體材質(zhì)是由 POM、陽極氧化鋁、聚丙烯、不銹鋼或 PTFE 制成。

旋涂工藝程序通過觸摸屏進(jìn)行設(shè)置。 用戶可以編寫多達(dá) 20 個(gè)步驟的 50 個(gè)程序段。每一步可設(shè)置不同的速度、加速度和時(shí)間參數(shù)。

選配項(xiàng)：

· 背面沖洗 (BSR)

· 晶圓去邊 (EBR)

· 氣動(dòng)注射器分配系統(tǒng)

· 電動(dòng)注射器分配系統(tǒng)

· 帶數(shù)字儀表和壓力控制的加壓瓶分配系統(tǒng)

· 各種真空或機(jī)械托盤

· 晶圓對(duì)準(zhǔn)工具

· 腔體材質(zhì)由陽極氧化鋁、聚丙烯或 PTFE 制成

特征：

· 擁有觸摸屏界面

· 多達(dá) 5 條試劑管路

· 具有可編程分配高度的電動(dòng)臂

· 占地面積小 600x625 毫米

· 自動(dòng)透明蓋

· 多種尺寸旋涂托盤

· 托盤更換快速簡便

· 處理腔室易清洗

技術(shù)參數(shù)：