晶圓清洗機(jī)

簡(jiǎn)要描述：WCS-200專(zhuān)為切割后的晶圓清洗而設(shè)計(jì)。該系統(tǒng)有兩種配置：最大8英寸的晶圓和最大12英寸的晶圓。

產(chǎn)品分類(lèi)

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詳細(xì)介紹

特點(diǎn)：

· 高壓或霧化噴霧清洗

· 擁有觸摸屏界面

· 可重復(fù)過(guò)程的快速啟動(dòng)按鈕

· 自動(dòng)透明蓋

· CDA 和 N₂ 輸入傳感器

WCS-200專(zhuān)為切割后的晶圓清洗而設(shè)計(jì)。該系統(tǒng)有兩種配置：最大8英寸的晶圓和最大12英寸的晶圓。

晶圓清洗工藝通過(guò)觸摸屏進(jìn)行設(shè)置。用戶(hù)可以通過(guò)4個(gè)步驟對(duì)多達(dá)50個(gè)程序段進(jìn)行編程：

· 沖洗

· 吹掃

· N₂干燥

· 旋轉(zhuǎn)

每個(gè)步驟可設(shè)置不同的速度和時(shí)間參數(shù)。

技術(shù)參數(shù)：

晶圓最大尺寸	8"/12"mm
晶圓清洗參數(shù)： · 速度; · 加速度； · 清洗時(shí)間； · 沖洗時(shí)間； · N₂干燥時(shí)間；
轉(zhuǎn)速范圍	500-3000 rpm
電源電壓	230VAC 50Hz 5A
CDA供給壓力	0.5-0.6 MPa
CDA 最大消耗量	3 m³/h
CDA 連接管	6 mm
去離子水供給壓力	0.2-0.3 MPa
去離子水最大消耗量	100 L/h
去離子水連接管	6 mm
真空供應(yīng)	0.02-0.04 MPa
真空連接管	6 mm
排氣連接管	50 mm
尺寸	900x780x1280 mm
重量	110 kg

產(chǎn)品咨詢(xún)

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