勻膠涂膜機(jī)ST20+特點(diǎn)：

÷ 直驅(qū)無刷微調(diào)電機(jī)

÷ 全軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)且*可編程

÷ 具有程序菜單管理功能的軟件控制

÷ 帶安全中斷傳感器的透明蓋

÷ 旋轉(zhuǎn)器蓋傳感器控制

÷ 通過觸摸屏或按鈕啟動(dòng)程序

÷ 7英寸彩色觸摸屏PP制成的處理碗和臺(tái)式外殼

÷ 外殼上的電源開關(guān)ON / OFF

÷ 配備標(biāo)準(zhǔn)的水坑噴嘴，通過水坑噴嘴注入溶劑

÷ 可拆卸處理碗和飛濺環(huán)，便于清潔

÷ 可處理圓形晶片，尺寸大為Ø200mm（Ø8英寸）

÷ 可處理方形基板，尺寸大為150 x 150毫米（6 x 6英寸）

÷ 標(biāo)配多安裝3個(gè)介質(zhì)管線/噴嘴（可選：多5個(gè)介質(zhì)管線/噴嘴）

÷ 可視真空控制儀

÷ 真空閥塊和傳感器的安全性由程序啟動(dòng)和系統(tǒng)運(yùn)行來控制

÷ 含0.5 Itr的廢液瓶

÷ 可選的帶Z軸移動(dòng)和PR分配系統(tǒng)的電動(dòng)介質(zhì)臂

÷ 可作為臺(tái)式安裝，也可做獨(dú)立裝置使用

÷ 簡(jiǎn)單且經(jīng)濟(jì)高效

÷ 專為研究所，實(shí)驗(yàn)室和基礎(chǔ)研發(fā)而設(shè)計(jì)

應(yīng)用于：旋涂，顯影，清潔和干燥

勻膠涂膜機(jī)ST20+產(chǎn)品參數(shù)：

可處理襯底尺寸：直徑大為Ø200mm（Ø8英寸）圓片，或大為150 x 150毫米（6 x 6英寸）方片；

旋轉(zhuǎn)速度：10,000rpm *，（以rpm步長(zhǎng)為單位）；

加速度：4.000 rpm / sec *；

處理時(shí)間：1至999,9sec，以0.1秒為步；

處理碗：可更換，聚丙烯（PP）材質(zhì)

腔體：白色（PP）材質(zhì)

固定晶圓片或襯底的裝置：真空托盤；

電源：230（208）VAC / 1Phase/ N / PE / 50（60）Hz

真空：-0.8 bar / -600 Torr，管外直徑6 mm

排氣-過程：1x外徑38毫米，約 30立方米/小時(shí)

氮?dú)猓蛇x）：4土0.2 bar，PFA管外徑6 mm

CDA（可選）：8土2bar，管外徑8mm。

選配項(xiàng)：

適用各種尺寸大小的托盤

分配臂

泵