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    當(dāng)前位置:首頁   >  產(chǎn)品中心  >  勻膠機/勻膠旋涂儀  >  650系列  >  WS-650HZ-8NPPB/UD3BLaurell勻膠機650-8NBPP

    Laurell勻膠機650-8NBPP

    簡要描述:Laurell勻膠機650-8NBPP(英文名:Spin Coater)適合半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜
    詳細介紹:勻膠機(英文名:Spin Coater& Spin Processor)
    行業(yè)俗稱:勻膠臺、勻膠機、旋涂儀、涂膠機、鍍膜機、涂層機

    • 產(chǎn)品型號:WS-650HZ-8NPPB/UD3B
    • 廠商性質(zhì):代理商
    • 更新時間:2024-05-16
    • 訪  問  量:1891

    詳細介紹

    一、產(chǎn)品概述:
        Laurell勻膠機650-8NBPP勻膠機適應(yīng)于半導(dǎo)體、化工材料、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。MYCRO的MSC系列勻膠機具有穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速和快速的啟動,可以保證半導(dǎo)體中膠厚度的*性和均勻性,這正是650型勻膠機的特點。
    二、勻膠機工作原理:
        Laurell勻膠機650-8NBPP勻膠機(spin coater)的工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,甩膠機常用于各種溶膠凝膠(Sol-Gel)實驗中的薄膜制作,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)。
    三、勻膠機主要性能指標:
    1、腔體尺寸:12.5英寸 (381 毫米);
    2、Wafer芯片尺寸:10-200mm直徑的材料,方片178x178mm,小于10mm提供3mm的轉(zhuǎn)接托盤);
    3、轉(zhuǎn)動速度:0-12,000rpm,
    4、旋涂加速度:0-30000rpm/sec(空載);
    5、馬達旋涂轉(zhuǎn)速:穩(wěn)定性能誤差 < ±1%
    6、轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度:<0.2rpm,重復(fù)性< 0.2rpm;
    7、工藝時間設(shè)定:1-5999.9 sec/step 0.1 精度;
    8、勻膠機材質(zhì):NPP天然聚丙烯材質(zhì),抗腐蝕性和抗化學(xué)物性,美觀大方;
    9、高精度數(shù)碼控制器:PLC控制,設(shè)置點精度小于0.006%。
    10、程序控制:可存儲20個程序段,每個程序段可以設(shè)置51步不同的速度狀態(tài);
    11、分辨率:分辨率小于0.5轉(zhuǎn)/分,可重復(fù)性小于±0.5轉(zhuǎn)/分,美國國家標準技術(shù)研究院(NIST)認證過的,并且無需再校準!]
    12、配套真空泵系統(tǒng):無油型 220~240伏交流,50/60赫茲;
    13、配套分析軟件:SPIN3000操作分析軟件;
    14、*水平測試儀; 
    15、兩袋密封圈; 
    16、廢液接收單元;
    17、UD自動滴膠裝置:UD-3帶倒吸裝置的多噴嘴可編程針筒,
    18、EBR(Edge Bead Remover):晶圓去邊,機械裝置;

    可選配置:
    IND構(gòu)造為濕站系統(tǒng)設(shè)計,帶遠程控制;
    OND構(gòu)造為手套箱系統(tǒng)設(shè)計,帶遠程控制;

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