It’s not only Spin Coater, it’s Spin Processor!

——勻膠機顧名思義，一種可以“讓膠液均勻涂敷的機器”。MYCRO的WS-650S所有數(shù)據(jù)結(jié)果都可以通過電腦輸出并予以保存。完成從單純旋轉(zhuǎn)機器到旋涂儀器的升級。

    勻膠機是一種常見用于材料薄膜制備工藝的實驗室設(shè)備，它的原理相對比較簡單，利用電機高速旋轉(zhuǎn)時所產(chǎn)生的離心力使得試液或者膠液均勻地涂敷在基底材料的表面，顧名思義，一種可以“讓膠液均勻涂敷的機器”。

    勻膠機有很多稱謂，勻膠臺，旋轉(zhuǎn)涂膜機，旋轉(zhuǎn)涂層機或者旋轉(zhuǎn)涂敷機等等，它的英文是 Spin Coater（旋轉(zhuǎn)涂膜的意思）。

    勻膠機既然是科研開發(fā)上制備薄膜材料*的方法之一，使用者對于該設(shè)備zui大的期待就在于其能夠“均勻”地涂敷試液或者膠液。通常我們會用均一性和可重復性來衡量薄膜材料制備的好壞。

    國內(nèi)外對于這種勻膠旋涂設(shè)備的發(fā)展呈現(xiàn)出很大的差距。中國先開展勻膠機研制的單位是中科院微電子所，推出的KW-4A型號的勻膠機，具有低速起步和高速旋轉(zhuǎn)兩個單位。

    國外的高性能勻膠機zui早則集中在美國和德國。后來隨著半導體工業(yè)的發(fā)展，日韓等國家也開發(fā)出性價比較高的勻膠機器。

    日韓等國隨著在半導體制程，LCD，TFT顯示材料的研發(fā)制造等領(lǐng)域的發(fā)展占據(jù)先機，所開發(fā)的產(chǎn)品基本上集中于半導體濕制程系列工藝中的自動化控制系統(tǒng)，由于涉及到與其它工序的自動化集成的趨勢，故產(chǎn)品價格高得也令人咂舌。目前美德諸多公司也放棄利潤低下的單獨功能的勻膠產(chǎn)品發(fā)展，全部集中于半導體整體工藝的解決方案提供。

     MYCRO美國產(chǎn)的勻膠設(shè)備WS-650MZ和WS-650HZ系列，除了對于轉(zhuǎn)速的精密控制以外（轉(zhuǎn)速范圍50~12000轉(zhuǎn)/分，分辨率小于0.5轉(zhuǎn)/分，可重復性小于±0.5轉(zhuǎn)/分，由美國NIST工業(yè)標準認證，無需再校準，加速度可達80000RPM/S，zui低則可達1RPM/S），加速時間可調(diào)范圍1秒至99分59.9秒，zui小增加度0.1秒。

     MYCRO的WS-650MZ和WS-650HZ勻膠機還可以通過與電腦鏈接，以及隨機附帶的SPIN分析軟件，對于每次實驗結(jié)果進行分析調(diào)試，并挑選出*的制備過程。所有數(shù)據(jù)結(jié)果都可以通過電腦輸出并予以保存。完成從單純旋轉(zhuǎn)機器到旋涂儀器的升級。