硅片清洗機(jī)的特點(diǎn)：

　　1.概述主要用于對(duì)表面有油污的單/多晶硅片進(jìn)行超聲波振蕩清洗.

　　2.組成設(shè)備基本由六-十個(gè)清洗槽構(gòu)成。

　　3.控制設(shè)備操作方便,清洗工作過(guò)程帶時(shí)間控制.

　　4.裝片每槽可裝載多個(gè)花籃，晶片放在清洗花籃內(nèi)（25片/籃）。

　　5.超聲波振蕩清洗過(guò)程水溫可根據(jù)需要設(shè)置加熱管,清洗功率與超聲頻率可根據(jù)需要調(diào)整.

　　6.槽體材料可選用PTFE、PVDF、PP和不銹鋼等.

　　7.PLC控制，觸摸屏操作面板.

　　8.多種工作模式：全自動(dòng)、半自動(dòng)、手動(dòng)等.

　　9.實(shí)時(shí)狀態(tài)顯示及故障報(bào)警

　　硅片清洗機(jī)的使用注意事項(xiàng)

　　1.切記在空槽的狀況下不能開啟清洗器，以免損壞機(jī)器。

　　2.放/換清洗液時(shí)必須關(guān)斷電源。

　　3.除特殊定制機(jī)抗腐蝕機(jī)型外，禁止使用腐蝕性強(qiáng)和易燃的溶液作清洗液，以免腐蝕容器和發(fā)生危險(xiǎn)。

　　4.清洗量以容積的1/2到2/3為佳。

　　5.機(jī)殼必須接地良好、可靠。

　　6.在正常情況下，清洗器連續(xù)工作一段時(shí)間后會(huì)自動(dòng)升溫，環(huán)境工作溫度不得高于45℃。

　　7.嚴(yán)禁將沸水直接注入槽內(nèi)，以防因驟冷驟熱導(dǎo)致?lián)Q能器脫落。(水溫不得超過(guò)40℃)

　　8.保證機(jī)器干燥的使用環(huán)境。不能開啟清洗器，以免損壞機(jī)器。

　　9.超聲波清洗機(jī)在工作一個(gè)小時(shí)或3個(gè)小時(shí)，讓機(jī)器休息半個(gè)小時(shí)或一個(gè)小時(shí)。

　　10.嚴(yán)禁導(dǎo)電液體（如水）進(jìn)入通風(fēng)口，否則會(huì)對(duì)超聲波清洗機(jī)的線路系統(tǒng)造成嚴(yán)重?fù)p害。

　　11.注意保持超聲波清洗機(jī)的清潔，不使用時(shí)關(guān)掉電源。（可用干抹布將機(jī)體擦干凈）

　　12.避免對(duì)超聲波清洗機(jī)的碰撞或劇烈震動(dòng)、遠(yuǎn)離熱源