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硅的各向異性濕法腐蝕是一種常用的制造微機械結構的體硅微加工技術，因為其實現(xiàn)相對容易，成本也相對低廉。而且，在大多數(shù)工藝中不需要消耗電力資源。在這一過程中，其反應為：Si+4H2O-Si(OH)4+2H2氫氧根離子沒有明確出現(xiàn)在反應中，但它十分重要，因為它催化反應并確保Si(OH)4產物在溶液中的溶解度。腐蝕的速率取決于溫度、蝕刻劑組成和表面的晶體學取向關系。值得注意的是，因為這種反應只涉及到化學反應，當半導體的電位被外部電源改變使，它的反應速率卻不受影響。各向異性所有堿性蝕刻...

ICP/RIE蝕刻應用范圍：-Si，SiO2，SiN蝕刻工藝-Al，Cr，Ti，TiW，Au，Mo等金屬蝕刻工藝-晶圓尺寸：一片，4英寸，6英寸晶圓RIE等離子刻蝕案例：SiO2/SiN蝕刻80sccmCF4，均勻性幾種功率水平下的壓力與蝕刻速率（如下圖）：PlasmaSTAR®系列等離子處理系統(tǒng)適合處理所有的材料，擁有模塊化腔室和電極配置，可滿足不同的等離子工藝和基片尺寸。占地面積小，觸摸屏計算機控制，多級程序控制和組件控制，操作簡單。用于研究、工藝開發(fā)和批量生產，...

“納米壓印技術”展示了通過在溫度和壓力控制的印刷過程中使熱塑性材料物理變形來執(zhí)行低于100nm平行光刻的能力。使用通過電子束光刻和干刻蝕圖案化的硅壓模來實現(xiàn)。這項技術的優(yōu)點在于，可使用具有納米圖案的硅“母版”，進行成千上萬次復制，從而降低成本并提高產量，用于半導體工藝中的開發(fā)個研究。包含的技術：熱壓印、UV紫外壓印、微米結構壓印（µCP）、卷對卷壓印和注塑成型等。典型的基材材料：硅，熔融石英，III-V材料和聚合物材料等。典型的壓印聚合物：PMMA，COC，COP...

結合使用等離子處理和旋涂，研究人員可以獲得具有更高穩(wěn)定性和性能的均勻材料涂層。等離子體處理通過引入含有親水性氧的官能團來改變表面化學性質。極性基團使基材可潤濕，并且能夠更好地與水溶液相互作用。等離子處理促進了粘附力并在基材上平滑鋪展。旋涂設備利用離心力來產生水平，均勻的薄膜和涂層。通過試驗轉速和加速度，研究人員可以JINQUE地確定特定的膜厚。旋涂可改善設備質量和專業(yè)外觀。這些工具可以無縫地協(xié)同工作，以在各種基材上提供均勻的膜和涂層。在許多應用中，一致的涂層特性可提高穩(wěn)定性和...

目前，越來越多的原子力顯微鏡被引入到各項研究中，但是相信很多科研人員會發(fā)現(xiàn)，做了幾次樣品后，針尖或者懸臂梁總會有東西粘附上去了，圖像質量和原來的形貌出入太大，沒有多少細節(jié)，甚至出現(xiàn)雙針尖現(xiàn)象，這個時候，被污染的針尖已經嚴重影響到實驗。而AFM探針針尖應該怎樣清洗才合適呢，這個問題一直困擾著科研人員。粒子探針一般采用的是紫外臭氧清洗技術來清洗有機物，紫外臭氧技術*是光子輸出，對探針表面不會造成任何損傷，是一種溫和的清洗方法。PSD和PSDP系列紫外臭氧系統(tǒng)通過產生185nm和2...

鈣鈦礦廣泛用于太陽能電池的開發(fā)。由于這些類型的太陽能電池具有良好的光伏性能，因此對它們進行了系統(tǒng)的研究。鈣鈦礦薄膜的厚度和形態(tài)是影響太陽能電池性能的重要因素。人們發(fā)現(xiàn)，特別當鈣鈦礦的厚度小于400nm時，鈣鈦礦太陽能電池的效率很大程度上取決于薄膜厚度；而當鈣鈦礦的厚度大于400nm時，效率則很大程度上取決于鈣鈦礦層的薄膜形態(tài)。在本篇方案說明中，我們使用FR-pRoVIS/NIR測量鈣鈦礦薄膜的厚度。FR-pRoVIS/NIR測量方法：用于表征的樣品是兩種不同厚度的CH3NH3...

應用領域Harrick等離子清洗機應用領域廣泛，包括材料科學，聚合物科學，生物醫(yī)學，微流體技術，鈣鈦礦太陽能電池制備，光學器件，顯微鏡，牙科以及其他醫(yī)學研究等。離子表面改性表面改性的好處通過等離子處理來附著或吸附官能團用以處理表面，改變特定應用的表面性能。根據(jù)所使用的工藝氣體來定制引入官能團，然后可以使用適當?shù)臍怏w將表面潤濕性更改為親水性或疏水性。潤濕性的提高，通過改善表面的覆蓋范圍和涂層的延展性以及增強兩個表面之間的附著力，為后續(xù)處理（例如膜的沉積或分子吸附）做好準備。等離...