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    當(dāng)前位置:首頁  >  技術(shù)文章

    • 2020

      9-22

      旋涂曲線(spincurve)是光刻膠重要參數(shù)之一,他給我們選擇光刻膠提供了重要的指導(dǎo)意義。所以我們來介紹一下什么是旋涂曲線?怎樣使用旋涂曲線?如何獲得旋涂曲線?什么是光刻膠旋涂曲線?顧名思義,光刻膠旋涂曲線就是在旋涂工藝下,光刻膠的厚度與勻膠轉(zhuǎn)速的關(guān)系曲線。一般來說,某一固定固含量的光刻膠在相同的勻膠條件下都會有一個相對穩(wěn)定的膜厚值。這個厚度隨著勻膠轉(zhuǎn)速的提高而降低。下圖是一個典型的光刻膠旋涂曲線:影響光刻膠旋涂曲線的因素主要有:光刻膠種類和固含量:一般來說,固含量越大,相...

    • 2020

      9-22

      納米制造使用光刻工藝(193nm,EUV,EBL等)涉及廣泛的材料、技術(shù)和相關(guān)的處理步驟,以便生產(chǎn)明確的納米結(jié)構(gòu)。光刻膠的光刻對比曲線是工藝優(yōu)化常用的參數(shù)之一。光致抗蝕劑的對比度曲線是顯影后剩余的抗蝕劑膜厚度,作為對數(shù)繪制的曝光劑量的函數(shù)[1]。測量方法:在本篇應(yīng)用案例中,使用EBPG-5000+電子束工具以100千電子伏的速度在不同的曝光劑量下對負(fù)性抗蝕劑進(jìn)行曝光,生成100×100μm正方形的陣列,每個正方形對應(yīng)不同的曝光劑量。在顯影步驟之后,使用FR-μ探針顯微光譜儀工...

    • 2020

      9-16

      等離子處理中哪種頻率效果好?中頻?射頻?微波?KHz,中頻產(chǎn)生等離子體能量大,主要是物理作用;MHz,射頻產(chǎn)生等離子體能量和密度居中,為物理和化學(xué)作用;GHz,微波產(chǎn)生等離子體能量小,密度高,主要為化學(xué)作用;40kHz、13.56MHz和2.45GHz等離子體激發(fā)頻率運(yùn)用:激發(fā)頻率為40kHz的等離子體即超聲等離子體清洗是以物理反應(yīng)為主的等離子體清洗,也叫做濺射腐蝕(SPE)或離子銑(IM),其優(yōu)點(diǎn)在于本身不發(fā)生化學(xué)反應(yīng),清潔表面不會留下任何的氧化物,可以保持被清洗物的化學(xué)純...

    • 2020

      9-16

      本篇介紹了使用I101鈣鈦礦前體油墨的鈣鈦礦太陽能電池制備過程,該油墨用于底部ITO/PEDOT:PSS陽極和頂部PC70BM/Ca/Al陰極。ITO/PEDOT:PSS/CH3NH3PbI3-xClx/PC70BM/Ca/Al詳細(xì)步驟如下:1.基板清潔:清潔預(yù)圖案化的ITO基板。將基板在1%的高溫(70°C)中超聲處理5分鐘。在沸騰的去離子(DI)水中漂洗底物兩次(轉(zhuǎn)儲沖洗),然后在IPA中進(jìn)一步超聲處理5分鐘,后在沸騰的DI水中漂洗兩次。使用壓縮氮?dú)飧稍锘摹?.PEDO...

    • 2020

      9-16

      UV固化工藝是光化學(xué)反應(yīng)前沿的應(yīng)用,通過一定強(qiáng)度的紫外光照射,瞬間固化油墨、涂料、膠等相關(guān)化學(xué)品。隨著科技的發(fā)展,UV固化所涉及領(lǐng)域也更加廣泛,應(yīng)用于汽車、電子、通訊、航空航天、金屬、玻璃及塑料等制品的制造上。憑籍其對產(chǎn)品品質(zhì)的提高和優(yōu)良的環(huán)境表現(xiàn),以每年10%以上的速度替代傳統(tǒng)固化工藝。UV照射可硬化材料中的光起始劑吸收紫外線光譜(波長200-400nm)中的某些特殊波長的光而產(chǎn)生斷鍵情形,這些斷鍵的物質(zhì)再去撞擊單體和預(yù)聚合體而產(chǎn)生連鎖架橋反應(yīng),瞬間將此材料從液態(tài)變成固態(tài)。...

    • 2020

      7-28

      涂膠顯影機(jī)具有可編程閥,它可以使單注射器試劑滴膠按照蝕刻,顯影和清洗應(yīng)用的要求重復(fù)進(jìn)行,如沖洗(通常是去離子水或溶劑),然后干燥(通常是氮?dú)猓┑群蟮奶幚聿襟E。采用此序貫閥門技術(shù)的晶圓片和管道在*干燥的環(huán)境中開通和關(guān)閉處理過程。隔離和獨(dú)立的給水器可處在靜態(tài)的位置還可以蓋內(nèi)調(diào)節(jié)。還有可選擇的動態(tài)線性或徑向滴膠的特性。涂膠顯影機(jī)加熱位置都是貼在熱板上,透過熱傳導(dǎo)的方式對晶圓進(jìn)行加熱,每個熱板同時只有一個加熱溫度。若遇到溫度改變也即晶圓需要經(jīng)過不同的工藝溫度的處理時,就會需要時間來做...

    • 2020

      6-28

      納米壓印機(jī)是一款專為實(shí)驗(yàn)室開發(fā)的即插即用,纖細(xì)輕巧的納米壓印工具,其能低成本且高效地實(shí)現(xiàn)高精度的納米熱壓工藝。它兼具熱壓印和紫外壓印兩種功能,而且可以快速的實(shí)現(xiàn)真空環(huán)境下的壓印。這個系統(tǒng)可以方便的根據(jù)不同需要進(jìn)行配置,閑置時也易于收藏。它可以處理各種不同形狀、格式以及直達(dá)100mm(4英寸)的模板和基片。該系統(tǒng)只需要手動裝入和取出模板和基片,其余的操作都是自動化進(jìn)行,同時附帶軟件還提供了詳細(xì)的參數(shù)設(shè)置,讓客戶對壓印過程實(shí)行全名的操控。我們這項前沿納米壓印技術(shù)優(yōu)勢在于:可快速復(fù)...

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